多晶硅(多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時(shí)，硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核，如這些晶核長(zhǎng)成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結(jié)合起來，就結(jié)晶成多晶硅。)在太陽(yáng)能利用上，單晶硅和多晶硅也發(fā)揮著巨大的作用。要使太陽(yáng)能發(fā)電具有較大的市場(chǎng)，被廣大的消費(fèi)者接受，就必須提高太陽(yáng)電池的光電轉(zhuǎn)換效率，降低生產(chǎn)成本。從國(guó)際太陽(yáng)電池的發(fā)展過程可以看出其發(fā)展趨勢(shì)為單晶硅、多晶硅、帶狀硅、薄膜材料（包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜）。不論是改良西門子法還是硅烷法生產(chǎn)工藝中都需要過濾設(shè)備，用于收集硅粉、氯硅烷循環(huán)洗滌、循環(huán)水再利用等工序。結(jié)合眾多項(xiàng)目生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，上海奕卿過濾科技有限公司提出了自己的過濾工藝解決方案。
（1）石英砂在電弧爐中冶煉提純到98%并生成工業(yè)硅，
其化學(xué)反應(yīng)SiO2+C→Si+CO2↑
（2）為了滿足高純度的需要，必須進(jìn)一步提純。把工業(yè)硅粉碎并用無水氯化氫(HCl)與之反應(yīng)在一個(gè)流化床反應(yīng)器中，生成擬溶解的三氯氫硅(SiHCl3)。
其化學(xué)反應(yīng)Si+HCl→SiHCl3+H2↑
反應(yīng)溫度為300度，該反應(yīng)是放熱的。同時(shí)形成氣態(tài)混合物(Н2,НС1,SiНС13,SiC14,Si)。
（3）第二步驟中產(chǎn)生的氣態(tài)混合物還需要進(jìn)一步提純，需要分解:過濾硅粉，冷凝SiНС13,SiC14，而氣態(tài)Н2,НС1返回到反應(yīng)中或排放到大氣中。然后分解冷凝物SiНС13,SiC14，凈化三氯氫硅（多級(jí)精餾）。
（4）凈化后的三氯氫硅采用高溫還原工藝，以高純的SiHCl3在H2氣氛中還原沉積而生成多晶硅。
其化學(xué)反應(yīng)SiHCl3+H2→Si+HCl。
多晶硅的反應(yīng)容器為密封的，用電加熱硅池硅棒（直徑5-10毫米，長(zhǎng)度1.5-2米，數(shù)量80根），在1050-1100度在棒上生長(zhǎng)多晶硅，直徑可達(dá)到150-200毫米。
這樣大約三分之一的三氯氫硅發(fā)生反應(yīng)，并生成多晶硅。剩余部分同Н2,НС1,SiНС13,SiC14從反應(yīng)容器中分離。這些混合物進(jìn)行低溫分離，或再利用，或返回到整個(gè)反應(yīng)中。氣態(tài)混合物的分離是復(fù)雜的、耗能量大的，從某種程度上決定了多晶硅的成本和該3工藝的競(jìng)爭(zhēng)力。
 
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多晶硅(多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時(shí)，硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核，如這些晶核長(zhǎng)成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結(jié)合起來，就結(jié)晶成多晶硅。)在太陽(yáng)能利用上，單晶硅和多晶硅也發(fā)揮著巨大的作用。要使太陽(yáng)能發(fā)電具有較大的市場(chǎng)，被廣大的消費(fèi)者接受，就必須提高太陽(yáng)電池的光電轉(zhuǎn)換效率，降低生產(chǎn)成本。從國(guó)際太陽(yáng)電池的發(fā)展過程可以看出其發(fā)展趨勢(shì)為單晶硅、多晶硅、帶狀硅、薄膜材料（包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜）。不論是改良西門子法還是硅烷法生產(chǎn)工藝中都需要過濾設(shè)備，用于收集硅粉、氯硅烷循環(huán)洗滌、循環(huán)水再利用等工序。結(jié)合眾多項(xiàng)目生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，上海奕卿過濾科技有限公司提出了自己的過濾工藝解決方案。
多晶硅生產(chǎn)中所遇見的污染物及雜質(zhì)顆粒：
1.未完全反應(yīng)的硅粉顆粒；
2.循環(huán)液帶入的管道中的雜質(zhì)；
3.進(jìn)料帶入的固體粉塵與雜質(zhì)；
4.合成反應(yīng)生成的固體雜質(zhì)；
 
這些顆粒雜質(zhì)污染物是影響生產(chǎn)穩(wěn)定、換熱效率的主要原因。上海奕卿過濾科技高效的過濾與分離設(shè)備不僅保護(hù)了生產(chǎn)設(shè)備的工藝安全，同時(shí)也提升了產(chǎn)品質(zhì)量與產(chǎn)量。
 
尾氣過濾應(yīng)用在多晶硅生產(chǎn)的各個(gè)工藝段,對(duì)多晶硅的生產(chǎn)起到重要作用,尤其目前行業(yè)低位運(yùn)行期間,對(duì)多晶硅產(chǎn)品降低成本至關(guān)重要：
a.廢氣廢液工位的煙氣過濾；
b.還原爐尾氣分離；
c.氫化爐尾氣分離；
d.硅粉過濾等。
 
1、還原尾氣分離
在SiCl4氫化氣和SiHCl3還原氣通過干法分離后，H2和HCl得以回收利用，在H2回用前需過濾氣體中含有的未反應(yīng)硅粉和生成的石墨粉，來保證氫氣純凈，使氫化反應(yīng)和還原反應(yīng)更穩(wěn)定、高效。

問題：	要求：	解決：
氫氣為高危氣體	過濾器密封性能良好	采用自動(dòng)反吹系統(tǒng)，無須打開濾器，減少內(nèi)件更換頻次，避免泄露可能
石墨粉/硅粉顆粒粒徑微小，硬度高。	過濾精度要求高，防止內(nèi)件穿透。	采用獨(dú)特的燒結(jié)金屬氈內(nèi)件，過濾孔徑穩(wěn)定，保證過濾性能,過濾精度可達(dá)0.1um-0.5um
尾氣溫度高	抗溫要求高。避免降溫處理帶來的一系列問題。	奕卿采用高溫直接處理工藝，避免降溫處理帶來管道腐蝕，能耗浪費(fèi)嚴(yán)重的問題。

 
2、廢氣、廢液焚燒處理
在多晶硅生產(chǎn)工藝中，廢氣廢液處理一直是困擾企業(yè)的難題之一。傳統(tǒng)的噴淋處理工藝，處理成本高，浪費(fèi)嚴(yán)重，環(huán)保問題嚴(yán)峻。
解決方案：
上海奕卿科技采用干法分離技術(shù)，將廢氣廢液在爐內(nèi)燃燒，生成SiO2粉末，通過分離收集SiO2粉末產(chǎn)生極大的經(jīng)濟(jì)效益。同時(shí)解決環(huán)保達(dá)標(biāo)排放問題。
工藝優(yōu)勢(shì)：
1、廢氣廢液集中處理，工藝流程短，操作簡(jiǎn)單；
2、回收的SiO2粉末產(chǎn)生極大的經(jīng)濟(jì)效益；
3、氣體經(jīng)燃燒后，符合環(huán)保要求，可直接放空處理，經(jīng)濟(jì)環(huán)保。
 
 
 
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常見流體化學(xué)適應(yīng)性表；
選擇過濾精度時(shí)微米和目數(shù)的關(guān)系；
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如何挑選合適的過濾袋-過濾芯；
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