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多晶硅(多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過(guò)冷條件下凝固時(shí)，硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核，如這些晶核長(zhǎng)成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結(jié)合起來(lái)，就結(jié)晶成多晶硅。)在太陽(yáng)能利用上，單晶硅和多晶硅也發(fā)揮著巨大的作用。要使太陽(yáng)能發(fā)電具有較大的市場(chǎng)，被廣大的消費(fèi)者接受，就必須提高太陽(yáng)電池的光電轉(zhuǎn)換效率，降低生產(chǎn)成本。從國(guó)際太陽(yáng)電池的發(fā)展過(guò)程可以看出其發(fā)展趨勢(shì)為單晶硅、多晶硅、帶狀硅、薄膜材料（包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜）。不論是改良西門(mén)子法還是硅烷法生產(chǎn)工藝中都需要過(guò)濾設(shè)備，用于收集硅粉、氯硅烷循環(huán)洗滌、循環(huán)水再利用等工序。結(jié)合眾多項(xiàng)目生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，上海奕卿過(guò)濾科技有限公司提出了自己的過(guò)濾工藝解決方案。
多晶硅生產(chǎn)中所遇見(jiàn)的污染物及雜質(zhì)顆粒：
1.未完全反應(yīng)的硅粉顆粒；
2.循環(huán)液帶入的管道中的雜質(zhì)；
3.進(jìn)料帶入的固體粉塵與雜質(zhì)；
4.合成反應(yīng)生成的固體雜質(zhì)；
 
這些顆粒雜質(zhì)污染物是影響生產(chǎn)穩(wěn)定、換熱效率的主要原因。上海奕卿過(guò)濾科技高效的過(guò)濾與分離設(shè)備不僅保護(hù)了生產(chǎn)設(shè)備的工藝安全，同時(shí)也提升了產(chǎn)品質(zhì)量與產(chǎn)量。
 
尾氣過(guò)濾應(yīng)用在多晶硅生產(chǎn)的各個(gè)工藝段,對(duì)多晶硅的生產(chǎn)起到重要作用,尤其目前行業(yè)低位運(yùn)行期間,對(duì)多晶硅產(chǎn)品降低成本至關(guān)重要：
a.廢氣廢液工位的煙氣過(guò)濾；
b.還原爐尾氣分離；
c.氫化爐尾氣分離；
d.硅粉過(guò)濾等。
 
1、還原尾氣分離
在SiCl4氫化氣和SiHCl3還原氣通過(guò)干法分離后，H2和HCl得以回收利用，在H2回用前需過(guò)濾氣體中含有的未反應(yīng)硅粉和生成的石墨粉，來(lái)保證氫氣純凈，使氫化反應(yīng)和還原反應(yīng)更穩(wěn)定、高效。

問(wèn)題：	要求：	解決：
氫氣為高危氣體	過(guò)濾器密封性能良好	采用自動(dòng)反吹系統(tǒng)，無(wú)須打開(kāi)濾器，減少內(nèi)件更換頻次，避免泄露可能
石墨粉/硅粉顆粒粒徑微小，硬度高。	過(guò)濾精度要求高，防止內(nèi)件穿透。	采用獨(dú)特的燒結(jié)金屬氈內(nèi)件，過(guò)濾孔徑穩(wěn)定，保證過(guò)濾性能,過(guò)濾精度可達(dá)0.1um-0.5um
尾氣溫度高	抗溫要求高。避免降溫處理帶來(lái)的一系列問(wèn)題。	奕卿采用高溫直接處理工藝，避免降溫處理帶來(lái)管道腐蝕，能耗浪費(fèi)嚴(yán)重的問(wèn)題。

 
2、廢氣、廢液焚燒處理
在多晶硅生產(chǎn)工藝中，廢氣廢液處理一直是困擾企業(yè)的難題之一。傳統(tǒng)的噴淋處理工藝，處理成本高，浪費(fèi)嚴(yán)重，環(huán)保問(wèn)題嚴(yán)峻。
解決方案：
上海奕卿科技采用干法分離技術(shù)，將廢氣廢液在爐內(nèi)燃燒，生成SiO2粉末，通過(guò)分離收集SiO2粉末產(chǎn)生極大的經(jīng)濟(jì)效益。同時(shí)解決環(huán)保達(dá)標(biāo)排放問(wèn)題。
工藝優(yōu)勢(shì)：
1、廢氣廢液集中處理，工藝流程短，操作簡(jiǎn)單；
2、回收的SiO2粉末產(chǎn)生極大的經(jīng)濟(jì)效益；
3、氣體經(jīng)燃燒后，符合環(huán)保要求，可直接放空處理，經(jīng)濟(jì)環(huán)保。
 
 
 
相關(guān)資料：
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尾氣回收對(duì)多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量和成本的影響；
 
相關(guān)產(chǎn)品：
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技術(shù)支持：
如何選擇過(guò)濾設(shè)備—工況調(diào)查表
常見(jiàn)流體的粘度；
常見(jiàn)顆粒物的大小及設(shè)備選型參考；
常見(jiàn)流體化學(xué)適應(yīng)性表；
選擇過(guò)濾精度時(shí)微米和目數(shù)的關(guān)系；
常見(jiàn)管道尺寸對(duì)照表；
如何挑選合適的過(guò)濾袋-過(guò)濾芯；
過(guò)濾機(jī)理和形式；
過(guò)濾行業(yè)中的常用術(shù)語(yǔ)；
過(guò)濾行業(yè)常見(jiàn)的單位換算；
過(guò)濾的種類(lèi)及模式；
過(guò)濾行業(yè)中的一些名詞定義；
常見(jiàn)顆粒物粒徑大小；
常用壓濾機(jī)濾布分類(lèi)；
過(guò)濾機(jī)理；
幾種過(guò)濾方法能耗分析；
幾種金屬顆粒和化合物粒徑分布；