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上海奕卿過濾科技有限公司

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多晶硅高溫尾氣雜質過濾處理

發(fā)布日期:2020-04-01 13:37:03

簡介:
多晶硅(多晶硅,是單質硅的一種形態(tài)。熔融的單質硅在過冷條件下凝固時,硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核,如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結合起來,就結晶成多晶硅。)在太陽能利用上,單晶硅和多晶硅也發(fā)揮著巨大的作用。要使太陽能發(fā)電具有較大的市場,被廣大的消費者接受,就必須提高太陽電池的光電轉換效率,降低生產成本。從國際太陽電池的發(fā)展過程可以看出其發(fā)展趨勢為單晶硅、多晶硅、帶狀硅、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)。不論是改良西門子法還是硅烷法生產工藝中都需要過濾設備,用于收集硅粉、氯硅烷循環(huán)洗滌、循環(huán)水再利用等工序。結合眾多項目生產經驗,上海奕卿過濾科技有限公司提出了自己的過濾工藝解決方案。
多晶硅(生產中所遇見的污染物及雜質顆粒:
1.未完全反應的硅粉顆粒;
2.循環(huán)液帶入的管道中的雜質;
3.進料帶入的固體粉塵與雜質;
4.合成反應生成的固體雜質;
 
這些顆粒雜質污染物是影響生產穩(wěn)定、換熱效率的主要原因。上海奕卿過濾科技高效的過濾與分離設備不僅保護了生產設備的工藝安全,同時也提升了產品質量與產量。
 
尾氣過濾應用在多晶硅生產的各個工藝段,對多晶硅的生產起到重要作用,尤其目前行業(yè)低位運行期間,對多晶硅產品降低成本至關重要:
a.廢氣廢液工位的煙氣過濾;
b.還原爐尾氣分離;
c.氫化爐尾氣分離;
d.硅粉過濾等。
 
1、還原尾氣分離
在SiCl4氫化氣和SiHCl3還原氣通過干法分離后,H2和HCl得以回收利用,在H2回用前需過濾氣體中含有的未反應硅粉和生成的石墨粉,來保證氫氣純凈,使氫化反應和還原反應更穩(wěn)定、高效。
問題: 要求: 解決:
氫氣為高危氣體 過濾器密封性能良好 采用自動反吹系統(tǒng),無須打開濾器,減少內件更換頻次,避免泄露可能
石墨粉/硅粉顆粒粒徑微小,硬度高。 過濾精度要求高,防止內件穿透。 采用獨特的燒結金屬氈內件,過濾孔徑穩(wěn)定,保證過濾性能,過濾精度可達0.1um-0.5um
尾氣溫度高 抗溫要求高。避免降溫處理帶來的一系列問題。 奕卿采用高溫直接處理工藝,避免降溫處理帶來管道腐蝕,能耗浪費嚴重的問題。
 
2、廢氣、廢液焚燒處理
在多晶硅生產工藝中,廢氣廢液處理一直是困擾企業(yè)的難題之一。傳統(tǒng)的噴淋處理工藝,處理成本高,浪費嚴重,環(huán)保問題嚴峻。
解決方案:
上海奕卿科技采用干法分離技術,將廢氣廢液在爐內燃燒,生成SiO2粉末,通過分離收集SiO2粉末產生極大的經濟效益。同時解決環(huán)保達標排放問題。
工藝優(yōu)勢:
1、廢氣廢液集中處理,工藝流程短,操作簡單;
2、回收的SiO2粉末產生極大的經濟效益;
3、氣體經燃燒后,符合環(huán)保要求,可直接放空處理,經濟環(huán)保。