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上海奕卿過(guò)濾科技有限公司

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精密過(guò)濾器在超純水中的過(guò)濾應(yīng)用

發(fā)布日期:2019-08-08 08:05:58

過(guò)程簡(jiǎn)述

超純水(Ultrapure water)又稱UP水,是指電阻率達(dá)到18 MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外,幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì),更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水??梢杂糜诔儾牧希ò雽?dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)的制備過(guò)程 
在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中,由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性,對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求,尤其對(duì)作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈 的超純水系統(tǒng)更是高之又高。半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個(gè)部分,分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分;在有些半導(dǎo)體廠中, 也有用“陰床+陽(yáng)床”代替電去離子裝置的,主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對(duì)弱電解質(zhì)的要求而定。
 

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

 
1.避免傳統(tǒng)離子再生耗費(fèi)的大量酸堿,對(duì)環(huán)境更友好;
2.克服傳統(tǒng)離子設(shè)備再生周期相對(duì)較長(zhǎng);
3.超濾反洗排水、一級(jí)RO濃水排水和CEDI濃水排水及其回收利用措施,利于節(jié)能減排;
4.節(jié)約水資源及半導(dǎo)體制造單位的運(yùn)行成本。
產(chǎn)品應(yīng)用
 
預(yù)處理部分
1.多介質(zhì)過(guò)濾器+活性炭過(guò)濾器;
2。粗過(guò)濾器+超濾裝置。
 
反滲透部分
反滲透膜.。
電去離子部分
EDI模塊和 CEDI模塊。
 
拋光混床
推薦產(chǎn)品:
精密濾芯過(guò)濾器、RO反滲透設(shè)備
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