過(guò)程簡(jiǎn)述
半導(dǎo)體工業(yè)用的超純氣體有氫、氧、氮、氬、氦、氨、二氧化銨、四氧化碳各類氣體氫化物及二元或三元以上的混合氣等，它們大部分 是從空氣、天然氣、石油化工和合成氨廠的殘余氣體中提取后進(jìn)一步精制得到，根據(jù)原料氣來(lái)源情況、雜質(zhì)組份含量、純度要求來(lái)選擇相應(yīng)的制備方法。集成電路發(fā) 展到兆位級(jí)后，對(duì)超凈提出了更嚴(yán)格要求，在超純氣體或電子氣體供氣系統(tǒng)中，為了脫除由于振動(dòng)或氣流沖擊所造成的脫落粒子，在使用氣前須安裝過(guò)濾器。
問(wèn)題描述
半導(dǎo)體元件因其高集成化，制作芯片上的電子電路的最小加工線寬度變得更微細(xì)，16k位電路線寬、線路間距為4~7微米，而256k位電路為0.8~1.5微 米；這種微細(xì)的加工允許的微粒子的最小粒徑是加工尺寸的1/5~1/10，故對(duì)于64k位隨機(jī)存取記憶，存在0.3微米的粒子會(huì)成為問(wèn)題，對(duì)于 256k~1M位隨機(jī)存取記憶，某一段存在0.1微米的粒子就會(huì)成為問(wèn)題。在半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中, 幾乎各道工序都用到超純氣體, 元件的質(zhì)量與超純氣體的純凈度密切相關(guān)。