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上海奕卿過濾科技有限公司

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關于多晶硅生產過程中硅烷廢氣的處理介紹

發(fā)布日期：2021-01-07 01:51:01

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近幾年隨著多晶硅生產工藝的不斷改進，生產成本降低和環(huán)境保護已成為關注目標，因此含顆粒粉塵氣體的凈化在改良西門子法中日益重要。不論是改良西門子法還是硅烷法生產工藝中都需要過濾設備，用于收集硅粉、氯硅烷循環(huán)洗滌、循環(huán)水再利用等工序。結合眾多項目生產經驗，WEYSYS提出了自己的過濾工藝解決方案。
多晶硅生產中所遇見的污染物及雜質顆粒：
1.未完全反應的硅粉顆粒；
2.循環(huán)液帶入的管道中的雜質；
3.進料帶入的固體粉塵與雜質；
4.合成反應生成的固體雜質；
這些顆粒雜質污染物是影響生產穩(wěn)定、換熱效率的主要原因。WEYSYS高效的過濾與分離設備不僅保護了生產設備的工藝安全，同時也提升了產品質量與產量。
尾氣過濾應用在多晶硅生產的各個工藝段,對多晶硅的生產起到重要作用,尤其目前行業(yè)低位運行期間,對多晶硅產品降低成本至關重要：
a.廢氣廢液工位的煙氣過濾；
b.還原爐尾氣分離；
c.氫化爐尾氣分離；
d.硅粉過濾等。
 
1、還原尾氣分離
在SiCl4氫化氣和SiHCl3還原氣通過干法分離后，H2和HCl得以回收利用，在H2回用前需過濾氣體中含有的未反應硅粉和生成的石墨粉，來保證氫氣純凈，使氫化反應和還原反應更穩(wěn)定、高效。
問題： 要求： 解決：
氫氣為高危氣體 過濾器密封性能良好 采用自動反吹系統(tǒng)，無須打開濾器，減少內件更換頻次，避免泄露可能
石墨粉/硅粉顆粒粒徑微小，硬度高。 過濾精度要求高，防止內件穿透。 采用獨特的燒結金屬氈內件，過濾孔徑穩(wěn)定，保證過濾性能,過濾精度可達0.1um-0.5um
尾氣溫度高 抗溫要求高。避免降溫處理帶來的一系列問題。 WEYSYS采用高溫直接處理工藝，避免降溫處理帶來管道腐蝕，能耗浪費嚴重的問題。
 
 
2、廢氣、廢液焚燒處理
在多晶硅生產工藝中，廢氣廢液處理一直是困擾企業(yè)的難題之一。傳統(tǒng)的噴淋處理工藝，處理成本高，浪費嚴重，環(huán)保問題嚴峻。
解決方案：
WEYSYS采用干法分離技術，將廢氣廢液在爐內燃燒，生成SiO2粉末，通過分離收集SiO2粉末產生極大的經濟效益。同時解決環(huán)保達標排放問題。
工藝優(yōu)勢：
1、廢氣廢液集中處理，工藝流程短，操作簡單；
2、回收的SiO2粉末產生極大的經濟效益；
3、氣體經燃燒后，符合環(huán)保要求，可直接放空處理，經濟環(huán)保。
相關產品：
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技術支持：
如何選擇過濾設備—工況調查表
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常見顆粒物的大小及設備選型參考；
常見流體化學適應性表；
選擇過濾精度時微米和目數的關系；
常見管道尺寸對照表；
如何挑選合適的過濾袋-過濾芯；
過濾機理和形式；
過濾行業(yè)中的常用術語；
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常見顆粒物粒徑大小；
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幾種過濾方法能耗分析；
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