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關(guān)于多晶硅生產(chǎn)中廢氣處理探析介紹

發(fā)布日期：2021-01-07 01:48:01

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近幾年隨著多晶硅生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)，生產(chǎn)成本降低和環(huán)境保護(hù)已成為關(guān)注目標(biāo)，因此含顆粒粉塵氣體的凈化在改良西門子法中日益重要。不論是改良西門子法還是硅烷法生產(chǎn)工藝中都需要過濾設(shè)備，用于收集硅粉、氯硅烷循環(huán)洗滌、循環(huán)水再利用等工序。結(jié)合眾多項目生產(chǎn)經(jīng)驗，WEYSYS提出了自己的過濾工藝解決方案。
多晶硅生產(chǎn)中所遇見的污染物及雜質(zhì)顆粒：
1.未完全反應(yīng)的硅粉顆粒；
2.循環(huán)液帶入的管道中的雜質(zhì)；
3.進(jìn)料帶入的固體粉塵與雜質(zhì)；
4.合成反應(yīng)生成的固體雜質(zhì)；
這些顆粒雜質(zhì)污染物是影響生產(chǎn)穩(wěn)定、換熱效率的主要原因。WEYSYS高效的過濾與分離設(shè)備不僅保護(hù)了生產(chǎn)設(shè)備的工藝安全，同時也提升了產(chǎn)品質(zhì)量與產(chǎn)量。
尾氣過濾應(yīng)用在多晶硅生產(chǎn)的各個工藝段,對多晶硅的生產(chǎn)起到重要作用,尤其目前行業(yè)低位運行期間,對多晶硅產(chǎn)品降低成本至關(guān)重要：
a.廢氣廢液工位的煙氣過濾；
b.還原爐尾氣分離；
c.氫化爐尾氣分離；
d.硅粉過濾等。

1、還原尾氣分離
在SiCl₄氫化氣和SiHCl₃還原氣通過干法分離后，H₂和HCl得以回收利用，在H₂回用前需過濾氣體中含有的未反應(yīng)硅粉和生成的石墨粉，來保證氫氣純凈，使氫化反應(yīng)和還原反應(yīng)更穩(wěn)定、高效。

問題：	要求：	解決：
氫氣為高危氣體	過濾器密封性能良好	采用自動反吹系統(tǒng)，無須打開濾器，減少內(nèi)件更換頻次，避免泄露可能
石墨粉/硅粉顆粒粒徑微小，硬度高。	過濾精度要求高，防止內(nèi)件穿透。	采用獨特的燒結(jié)金屬氈內(nèi)件，過濾孔徑穩(wěn)定，保證過濾性能,過濾精度可達(dá)0.1um-0.5um
尾氣溫度高	抗溫要求高。避免降溫處理帶來的一系列問題。	WEYSYS采用高溫直接處理工藝，避免降溫處理帶來管道腐蝕，能耗浪費嚴(yán)重的問題。

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