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半導(dǎo)體行業(yè)超純水處理系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計

發(fā)布日期：2020-11-24 16:56:17

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半導(dǎo)體工業(yè)的電子芯片是我國的大宗進(jìn)口商品，我國的芯片行業(yè)發(fā)展比較緩慢，近期國家的政策也傾向于大力發(fā)展自主性的半導(dǎo)體芯片。在半導(dǎo)體行業(yè)，超純水不同于其他行業(yè)的超純水的要求，有極其嚴(yán)苛的水質(zhì)要求。
超純水（Ultrapure water）又稱UP水，是指電阻率達(dá)到18 MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。可以用于超純材料（半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等）應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)的制備過程 
超純水處理:既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值(25℃)。
超純水處理，是一般工藝很難達(dá)到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm(25℃)。
在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中，很多電子元器件生產(chǎn)過程中需要大量超純水，且對水質(zhì)要求特別嚴(yán)苛。由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈的超純水系統(tǒng)更是高之又高。半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個部分，分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分；在有些半導(dǎo)體廠中， 也有用“陰床+陽床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對弱電解質(zhì)的要求而定。
 產(chǎn)品優(yōu)勢
1.避免傳統(tǒng)離子再生耗費的大量酸堿，對環(huán)境更友好；
2.克服傳統(tǒng)離子設(shè)備再生周期相對較長；
3.超濾反洗排水、一級RO濃水排水和CEDI濃水排水及其回收利用措施，利于節(jié)能減排；
4.節(jié)約水資源及半導(dǎo)體制造單位的運行成本。
產(chǎn)品應(yīng)用
預(yù)處理部分
1.多介質(zhì)過濾器+活性炭過濾器;
2.粗過濾器+超濾裝置。
反滲透部分
反滲透膜
電去離子部分
EDI模塊和 CEDI模塊。
拋光混床
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推薦產(chǎn)品：
精密濾芯過濾器        袋式過濾器         微孔過濾機(jī)        機(jī)械過濾器
 
技術(shù)支持：
如何選擇過濾設(shè)備—工況調(diào)查表
常見流體的粘度；
常見顆粒物的大小及設(shè)備選型參考；
常見流體化學(xué)適應(yīng)性表；
選擇過濾精度時微米和目數(shù)的關(guān)系；
常見管道尺寸對照表；
如何挑選合適的過濾袋-過濾芯；
過濾機(jī)理和形式；
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常見顆粒物粒徑大小；
常用壓濾機(jī)濾布分類；
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幾種金屬顆粒和化合物粒徑分布；
顆粒尺寸和對應(yīng)的過濾分離方式;