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上海奕卿過濾科技有限公司

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關(guān)于半導(dǎo)體制造用高純電子氣體新品種的現(xiàn)狀介

發(fā)布日期：2020-11-21 19:54:03

相關(guān)
超純氣體指純度高于99.99%的氣體,是一種高純化學(xué)試劑。為適應(yīng)一些科學(xué)研究和尖端技術(shù)的特殊需要而制備。一些對氣體要求特別純凈的部門，需要超純氣體的純度高達(dá)99.9999%以上,每升氣體中粒度大于0.5μm的塵粒數(shù)應(yīng)小于三個(gè)。
超純氣體的制備大多是從工業(yè)氣體加以純化，有吸附法、吸收法、薄膜擴(kuò)散法、電解法、生化法、輻射法、光解法、低溫精餾法、催化法等。例如超純氫、氮、氦、氬，先通過空氣分離提取較純氣體，再經(jīng)低溫吸附得到超純氣體;粗氬也可以從合成氨弛放氣中提取;粗氪、氙從核裂變氣中提取，再經(jīng)純化而得超純氣體。
半導(dǎo)體工業(yè)用的超純氣體有氫、氧、氮、氬、氦、氨、二氧化銨、四氧化碳各類氣體氫化物及二元或三元以上的混合氣等，它們大部分 是從空氣、天然氣、石油化工和合成氨廠的殘余氣體中提取后進(jìn)一步精制得到，根據(jù)原料氣來源情況、雜質(zhì)組份含量、純度要求來選擇相應(yīng)的制備方法。集成電路發(fā) 展到兆位級后，對超凈提出了更嚴(yán)格要求，在超純氣體或電子氣體供氣系統(tǒng)中，為了脫除由于振動或氣流沖擊所造成的脫落粒子，在使用氣前須安裝過濾器。
半導(dǎo)體元件因其高集成化，制作芯片上的電子電路的最小加工線寬度變得更微細(xì)，16k位電路線寬、線路間距為4~7微米，而256k位電路為0.8~1.5微 米；這種微細(xì)的加工允許的微粒子的最小粒徑是加工尺寸的1/5~1/10，故對于64k位隨機(jī)存取記憶，存在0.3微米的粒子會成為問題，對于 256k~1M位隨機(jī)存取記憶，某一段存在0.1微米的粒子就會成為問題。在半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中, 幾乎各道工序都用到超純氣體, 元件的質(zhì)量與超純氣體的純凈度密切相關(guān)。
相關(guān)產(chǎn)品：
精密過濾器
 
相關(guān)資料：
HCl電子氣體超純純化技術(shù)研究；
半導(dǎo)體超凈廠房純氣系統(tǒng)及實(shí)例；
半導(dǎo)體工業(yè)用超純氣體——電子純液氧、液氮；
超純電子混合氣體及標(biāo)準(zhǔn)氣體的配制技術(shù)探究；
國外半導(dǎo)體工業(yè)用超純氣體；
半導(dǎo)體制造用高純電子氣體新品種的現(xiàn)狀；
半導(dǎo)體工藝中超高純氣的穩(wěn)定供應(yīng)技術(shù)；

技術(shù)支持：
如何選擇過濾設(shè)備—工況調(diào)查表
常見流體的粘度；
常見顆粒物的大小及設(shè)備選型參考；
常見流體化學(xué)適應(yīng)性表；
選擇過濾精度時(shí)微米和目數(shù)的關(guān)系；
常見管道尺寸對照表；
如何挑選合適的過濾袋-過濾芯；
過濾機(jī)理和形式；
過濾行業(yè)中的常用術(shù)語；
過濾行業(yè)常見的單位換算；
過濾的種類及模式；
過濾行業(yè)中的一些名詞定義；
常見顆粒物粒徑大小；
常用壓濾機(jī)濾布分類；
過濾機(jī)理；
幾種過濾方法能耗分析；
幾種金屬顆粒和化合物粒徑分布；
顆粒尺寸和對應(yīng)的過濾分離方式;