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超純水（Ultrapure water）又稱UP水，是指電阻率達到18 MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水?？梢杂糜诔儾牧希ò雽w原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當?shù)某R界精細技術的制備過程 
超純水處理:既將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值(25℃)。
超純水處理，是一般工藝很難達到的程度，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm(25℃)。
在半導體產(chǎn)品制造過程中，由于生產(chǎn)設備的精密性和生產(chǎn)工藝的復雜性，對其配套設施提出了很高的要求，尤其對作為半導體行業(yè)血脈 的超純水系統(tǒng)更是高之又高。半導體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個部分，分別為預處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分；在有些半導體廠中， 也有用“陰床+陽床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質和產(chǎn)水水質對弱電解質的要求而定。
 產(chǎn)品優(yōu)勢
1.避免傳統(tǒng)離子再生耗費的大量酸堿，對環(huán)境更友好；
2.克服傳統(tǒng)離子設備再生周期相對較長；
3.超濾反洗排水、一級RO濃水排水和CEDI濃水排水及其回收利用措施，利于節(jié)能減排；
4.節(jié)約水資源及半導體制造單位的運行成本。
產(chǎn)品應用
預處理部分
1.多介質過濾器+活性炭過濾器;
2.粗過濾器+超濾裝置。
反滲透部分
反滲透膜
電去離子部分
EDI模塊和 CEDI模塊。
拋光混床
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袋式過濾器
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技術支持：
如何選擇過濾設備—工況調查表
常見流體的粘度；
常見顆粒物的大小及設備選型參考；
常見流體化學適應性表；
選擇過濾精度時微米和目數(shù)的關系；
常見管道尺寸對照表；
如何挑選合適的過濾袋-過濾芯；
過濾機理和形式；
過濾行業(yè)中的常用術語；
過濾行業(yè)常見的單位換算；
過濾的種類及模式；
過濾行業(yè)中的一些名詞定義；
常見顆粒物粒徑大小；
常用壓濾機濾布分類；
過濾機理；
幾種過濾方法能耗分析；
幾種金屬顆粒和化合物粒徑分布；
顆粒尺寸和對應的過濾分離方式;