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上海奕卿過濾科技有限公司

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精密過濾器在超純水生產(chǎn)中的應(yīng)用

發(fā)布日期:2020-03-31 13:36:06


超純水處理
 
 超純水(Ultrapure water)又稱UP水,是指電阻率達(dá)到18 MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外,幾乎沒有什么雜質(zhì),更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水??梢杂糜诔儾牧希ò雽?dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)的制備過程 
超純水處理:既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm,或接近18.3MΩ*cm極限值(25℃)。
超純水處理,是一般工藝很難達(dá)到的程度,采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟,多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法,電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm(25℃)。
在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中,由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性,對其配套設(shè)施提出了很高的要求,尤其對作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈 的超純水系統(tǒng)更是高之又高。半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個部分,分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分;在有些半導(dǎo)體廠中, 也有用“陰床+陽床”代替電去離子裝置的,主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對弱電解質(zhì)的要求而定。
 
產(chǎn)品優(yōu)勢
 
1.避免傳統(tǒng)離子再生耗費(fèi)的大量酸堿,對環(huán)境更友好;
2.克服傳統(tǒng)離子設(shè)備再生周期相對較長;
3.超濾反洗排水、一級RO濃水排水和CEDI濃水排水及其回收利用措施,利于節(jié)能減排;
4.節(jié)約水資源及半導(dǎo)體制造單位的運(yùn)行成本。
產(chǎn)品應(yīng)用
 
預(yù)處理部分
1.多介質(zhì)過濾器+活性炭過濾器;
2.粗過濾器+超濾裝置。
 
反滲透部分
反滲透膜
電去離子部分
EDI模塊和 CEDI模塊。
 
拋光混床
 
推薦產(chǎn)品:
精密濾芯過濾器
袋式過濾器
微孔過濾機(jī)
 
技術(shù)支持:
如何選擇過濾設(shè)備—工況調(diào)查表
常見流體的粘度;
常見顆粒物的大小及設(shè)備選型參考;
常見流體化學(xué)適應(yīng)性表;
選擇過濾精度時微米和目數(shù)的關(guān)系;
常見管道尺寸對照表;
如何挑選合適的過濾袋-過濾芯;
過濾機(jī)理和形式;
過濾行業(yè)中的常用術(shù)語
過濾行業(yè)常見的單位換算;
過濾的種類及模式
過濾行業(yè)中的一些名詞定義;
常見顆粒物粒徑大小
常用壓濾機(jī)濾布分類;
過濾機(jī)理;
幾種過濾方法能耗分析;
幾種金屬顆粒和化合物粒徑分布;
顆粒尺寸和對應(yīng)的過濾分離方式;