多晶硅(生產(chǎn)中所遇見的污染物及雜質(zhì)顆粒:
1.未完全反應(yīng)的硅粉顆粒;
2.循環(huán)液帶入的管道中的雜質(zhì);
3.進(jìn)料帶入的固體粉塵與雜質(zhì);
4.合成反應(yīng)生成的固體雜質(zhì);
簡介:
多晶硅(多晶硅,是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時(shí),硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核,如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結(jié)合起來,就結(jié)晶成多晶硅。)在太陽能利用上,單晶硅和多晶硅也發(fā)揮著巨大的作用。要使太陽能發(fā)電具有較大的市場,被廣大的消費(fèi)者接受,就必須提高太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率,降低生產(chǎn)成本。從國際太陽電池的發(fā)展過程可以看出其發(fā)展趨勢為單晶硅、多晶硅、帶狀硅、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)。不論是改良西門子法還是硅烷法生產(chǎn)工藝中都需要過濾設(shè)備,用于收集硅粉、氯硅烷循環(huán)洗滌、循環(huán)水再利用等工序。結(jié)合眾多項(xiàng)目生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),上海奕卿過濾科技有限公司提出了自己的過濾工藝解決方案。
這些顆粒雜質(zhì)污染物是影響生產(chǎn)穩(wěn)定、換熱效率的主要原因。上海奕卿過濾科技高效的過濾與分離設(shè)備不僅保護(hù)了生產(chǎn)設(shè)備的工藝安全,同時(shí)也提升了產(chǎn)品質(zhì)量與產(chǎn)量。
尾氣過濾應(yīng)用在多晶硅生產(chǎn)的各個(gè)工藝段,對(duì)多晶硅的生產(chǎn)起到重要作用,尤其目前行業(yè)低位運(yùn)行期間,對(duì)多晶硅產(chǎn)品降低成本至關(guān)重要:
a.廢氣廢液工位的煙氣過濾;
b.還原爐尾氣分離;
c.氫化爐尾氣分離;
d.硅粉過濾等。
1、還原尾氣分離
在SiCl4氫化氣和SiHCl3還原氣通過干法分離后,H2和HCl得以回收利用,在H2回用前需過濾氣體中含有的未反應(yīng)硅粉和生成的石墨粉,來保證氫氣純凈,使氫化反應(yīng)和還原反應(yīng)更穩(wěn)定、高效。
問題: |
要求: |
解決: |
氫氣為高危氣體 |
過濾器密封性能良好 |
采用自動(dòng)反吹系統(tǒng),無須打開濾器,減少內(nèi)件更換頻次,避免泄露可能 |
石墨粉/硅粉顆粒粒徑微小,硬度高。 |
過濾精度要求高,防止內(nèi)件穿透。 |
采用獨(dú)特的燒結(jié)金屬氈內(nèi)件,過濾孔徑穩(wěn)定,保證過濾性能,過濾精度可達(dá)0.1um-0.5um |
尾氣溫度高 |
抗溫要求高。避免降溫處理帶來的一系列問題。 |
奕卿采用高溫直接處理工藝,避免降溫處理帶來管道腐蝕,能耗浪費(fèi)嚴(yán)重的問題。 |
2、廢氣、廢液焚燒處理
在多晶硅生產(chǎn)工藝中,廢氣廢液處理一直是困擾企業(yè)的難題之一。傳統(tǒng)的噴淋處理工藝,處理成本高,浪費(fèi)嚴(yán)重,環(huán)保問題嚴(yán)峻。
解決方案:
上海奕卿科技采用干法分離技術(shù),將廢氣廢液在爐內(nèi)燃燒,生成SiO2粉末,通過分離收集SiO2粉末產(chǎn)生極大的經(jīng)濟(jì)效益。同時(shí)解決環(huán)保達(dá)標(biāo)排放問題。
工藝優(yōu)勢:
1、廢氣廢液集中處理,工藝流程短,操作簡單;
2、回收的SiO2粉末產(chǎn)生極大的經(jīng)濟(jì)效益;
3、氣體經(jīng)燃燒后,符合環(huán)保要求,可直接放空處理,經(jīng)濟(jì)環(huán)保。
多晶硅其他過濾器
從改良西門子法到硅烷法,從氯硅烷過濾到高溫尾氣分離,奕卿都可滿足客戶不同的需求。